【　記錄編號　】 200026
【　記錄類型　】 文摘
【　限制使用　】 國內
【　成果名稱　】 FA/o高純多功能界面活性劑的研究及在微電子工業中應用
【　省　　市　】 河北  
【　 分類號　 】 TN301  TQ423.2  
【　 關鍵詞　 】 表面活性劑  微電子  非離子  界面活性劑  半導體器件  界面  
【　成果簡介　】
　　選用非離子界面活性劑,用于活性劑特有的潤濕、有效降低溶液表面能力,使拋光液分布均勻,且及時使產物外擴散,達到反應鏡面平整.通過將吸附物分散、解吸,轉化為無害的易清洗的物理吸附.經檢測主要參數K、Na、Ca、Fe、Cu、Au、Ni、Cr八種金屬雜質含量低.國際首創.
【　成果密級　】 非密