本發明描述了用于涂膜層顯影的表面活性劑水溶液，它至少含有一種選自以下的表面活性劑：N－酰基肌氨酸鹽、N－酰基－N－甲基丙氨酸鹽、N－酰基牛磺酸鹽、N－酰基－N－甲基牛磺酸鹽、脂肪酸烷基醇酰胺以及脂肪酸烷基醇酰胺同聚氧化乙烯的加成物。這種水性表面活性劑溶液作為顯影溶液，用于縮小抗蝕圖案間距寬度的方法，該方法包括：在按照常規方法形成的抗蝕圖案上形成水溶性樹脂涂膜層，在抗蝕圖案所釋放的酸的作用下將涂膜層進行交聯，然后使用顯影溶液溶解并除去涂膜的未交聯部分，從而將抗蝕圖案加厚。

用于涂膜層顯影的表面活性劑水溶液.pdf