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半導體基板洗凈液組合物.pdf

放大字體  縮小字體 發布日期：2006-11-08  瀏覽次數：406
核心提示：半導體基板洗凈液組合物.pdf

       本發明該洗凈液組合物提供一種可以有效地除去疏水性基板面的粒子和金屬而不腐蝕該疏水性基板。該洗凈液組合物用于在其上滴下水時的表面接觸角是７０度以上的半導體基板，并含有脂肪族多元羧酸類和表面活性劑，其中當該組合物滴下在前述半導體基板上時的接觸角變成５０度以下。

半導體基板洗凈液組合物.pdf
 

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