高純水的水質標準中所規定的各項指標的主要依據有：1.微電子工藝對水質的要求；2.制水工藝的水平；3.檢測技術的現狀。
    在高純凈水設備的生產過程中，水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術等去除；水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除；水中的細菌，目前國內多采用jiayao或紫外線燈照射或臭氧shajun的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導致低擊穿，產生缺陷，還影響材料的少子壽命，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。

  天然水中溶解的氣體主要有O2、、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣等，在高純水的生產過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質，在 生產高純水的過程中，加入了一些化學殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。這些都是為什么高純水不能作為飲用水的原因之一。從學術角度講，純水又名高純 水，是指化學純度極高的水，其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用**的還是電子工業。例如電 力系統所用的純水，要求各雜質含量低達到“微克/升”級。在純水的制作中，水質標準所規定的各項指標應該根據電子(微電子)元器件(或材料)的生產工藝而 定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術的復雜性和影響產品質量的因素繁多，至今尚無一份由工藝 試驗得到的適用于某種電路生產的完整的水質標準。不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發展創造了條件。    
    純凈水設備它是采用離子交換法、 反滲透法、精微過濾及其他適當的物理加工方法進行深度處理后產生的水。一般情況下純凈水在生產過程中，源水只有50%-75%被利用，也就是說，1公斤自 來水或地下水大約只能生產出0.4公斤左右的純凈水，而剩下的0.6公斤左右的水不能當作飲用水，只能另作它用。那么什么為純凈水呢？所謂純凈水是指其水 質qingchun，不含任何有害物質和細菌，如有機污染物、無機鹽、任何添加劑和各類雜質，有效的避免了各類病菌ruqin人體，其優點是能有效安全地給人體補充水份，具 有很強的溶解度，因此與人體細胞親合力很強，有cujinxinchengdaixie的作用。